2月21日音讯，据哈工大全媒体报道：“世界光子大会发布首届“金燧奖”我国光电仪器品牌榜获奖名单，我校仪器学院胡鹏程教授团队研制的“高速超精细激光干与仪”荣获金奖”。

  据报道，哈工大成功研制出了高速超精细激光干与仪，现在可用于350nm到28nm工艺的光刻机样机集成研制和功能测验，这在某种程度上预示着咱们离光刻机又近了一步。

  据悉，在校园青年科学家作业室支持下，谭久彬院士辅导的胡鹏程教授团队打破系列中心丈量方法和工程化要害技能，处理了该范畴存在的测禁绝、测不精、测不快的中心难题，共获授权发明专利113项（其我世界专利6项），拟定有关规范2项，出书学术著作2部。

  激光干与位移丈量技能是几许量精细丈量最高水准的典型代表，精度到达亚纳米乃至皮米量级，在大科学工程如引力波勘探、系外生命勘探、先进重力场丈量等严峻科学范畴，以及在超精细加工如晶圆光刻机、精细数字控制机床等基础工业范畴都有广泛应用。

  尤其是光刻机等高端配备中，超精细高速激光干与仪是中心单元之一，它是完成极限作业精度和作业效率的必要条件。在该范畴，美国公司具有很强的实力，处于独占位置。而且受限于禁令，我国无法从国外进口这些要害设备。所以，这类仪器假如不取得技能打破，将会严峻限制我国光刻机的开展。

  咱们都知道，美国继续在半导体范畴对我国施压，撮合世界各国目的进一步封闭对华的半导体供应链，所以在各个要害范畴，都要求咱们能尽早的取得打破，其间高端光刻机是呼声最高的。

  可是高端光刻机集成了当下最先进的各范畴科技，每一个环节简直都像一个技能顶峰，需求霸占。那么哈工大针对我国光刻机等高端配备研制的火急需求，在高精度激光稳频、光学非线性差错精准按捺、高速高分辨力干与信号处理等要害技能方面，投入了巨大的研制力气，也取得了继续打破，研制出系列超精细高速激光干与仪。

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