范畴是精度最高的丈量仪器之一，在平等体系扩大倍率下检测精度和重复精度都高于共聚集显微镜和聚集成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超精细加工范畴，除了白光干与仪，其它的仪器无法到达其丈量精度要求。

  白光干与仪是使用光学干与原理研制开发的超精细外表概括丈量仪器。照明光束经半反半透分光镜分威两束光，别离投射到样品外表和参阅镜外表。从两个外表反射的两束光再次经过分光镜后组成一束光，并由成像体系在CCD相机感光面构成两个叠加的像。因为两束光彼此干与，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干与条纹。干与条纹的亮度取决于两束光的光程差，依据白光干与条纹明暗度以及干与条纹呈现的方位解分出被测样品的相对高度。

  以丈量单刻线台阶为倒，在查看仪器的各线路接头都精确插到对应插孔后，敞开仪器电源开关，发动核算机，将单刻线台阶工件放置在载物台中间方位，先手动调整载物台大约方位，对准白光干与仪目镜的下方。

  在核算机上翻开白光干与仪丈量软件，在软件界面上设置好目镜下行的最低点，再微调镜头与被测单刻线台阶外表的间隔，调整到核算机屏幕上能够正常的看到两到三条干与条纹为佳，此刻设置好要扫描的间隔。按开端按钮，白光干与仪可主动进行扫描丈量，丈量完成后，转件主动生成3D图画，丈量人能对3D图画进行数据剖析，取得被测器材外表线D参数。

  白光干与仪具有丈量精度高、操作快捷、功用全面、丈量参数包括面广的长处，丈量单个精细器材的进程用时2分钟以内，保证了高款率检测。白光干与仪独有的特别光源形式，能够广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器材外表的丈量。