3D表面轮廓仪，其基于白光干涉原理，以3D非接触方式，测量分析样品表面形貌的关键

  几何特征（关键孔径尺寸，曲率半径，特征区域的面积和体积，特征图形的位置和数量等等）。

  白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表明上进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面上的质量的2D、3D参数，以此来实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

  可在半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中，测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供相关依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

  白光干涉仪可对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征做测量和分析。

  ，激光位移传感器，膜厚仪是目前3D领域中，精度最高的测量仪器之一，前面立仪科技小编已经为大家介绍了光谱共焦位移传感器，激光位移传感器，接下来本文就带大家一起来了解了解

  的工作原理及应用领域 /

  ，光谱共焦位移传感器，线激光位移传感器，膜厚仪都是高精度检验测试仪器，本篇立仪科技小编就带领大家一起来了解了解

  的原理及应用的介绍 /

  可以测量晶圆膜厚、粗糙度、平整度（翘曲），晶圆切割槽深、槽宽、崩边形貌等参数。

  的作用 /

  原理和优势。 _______________________________ 那

  有哪些功能？能做什么？ /

  是目前三维形貌测量领域高精度检验测试仪器之一。在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域，除了

  的原理和系统构成 /

  作为三维形貌测量领域的高精度检验测试仪器之一，在微电子、微机械、微光学等领域，

  可以提供更高精度的检测需求。测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅

  测三维形貌 /

  技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统。

  是什么？ /

  技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表明上进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据

  能测哪些三维形貌？ /

  的测量步骤 /

  原理和优势。_______________________________那

  能做什么丨科普篇 /

  技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗

  的原理和测量方法 /

  原理，经过测量光的相位变化来获取物体表面的形貌信息。在工业制造、科学研究等领域，被大范围的使用在测量精密器件的形貌、表面缺陷检验测试等方面。

  测二维形貌怎么测 /

  能测透明材料吗？ /

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