Filmetrics 3D光学轮廓仪具有3倍於于其本钱仪器的次纳米级笔直分辨率, Profilm3D相同运用了如今高分辨率之光学轮廓仪的丈量技能包括笔直扫描干与（VSI）及相移干与（PSI）。

  Profilm3D的解析力每台Profilm3D带有直观的粗糙度，外表描摹和台阶高度的丈量软件。一切常见如ISO 25178 所规范的粗糙度参数都支撑，也包括軟件功用用于描摹剖析， 如形状去除和波长过滤，都包括在根本Profilm3D软件。关于更进阶的功用，Filmetrics供给了咱们的合作伙伴TrueGage的TrueMap软件可进一步处理 Profilm3D数据， 这当然也与业界其他规范剖析软件兼容。

  其他轮廓仪列为选备的功用已经是咱们的规范装备为什么需求额定付出每位运用者所需求的功用？每台Profilm3D都已标配主动化X/Y渠道包括tip/tilt 功用。

  以咱们的阶高规范片树立规范每台Filmetrics白光干与仪（3D光学轮廓仪）装备了一个10微米阶高规范片，可达0.5%准确度。另咱们还供给具有100nm，2微米以及4微米等多阶高规范片。

  大视场The Profilm3D以10倍物镜优异地供给更广大的2毫米视界, 其数位变焦功用有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需求。 更进一步削减整体本钱。 本司也供给手动或主动物镜切换炮塔等装备可弹性运用于需运用多物镜应用之样。

  4微米，2微米， 和100纳米多台阶高度规范。1.25英寸方形硅片上镀铬