泰曼干与仪由两个准直透镜、分束器、规范平板以及规范球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解成参阅光束和检测光束。二者别离由规范平面和检测体系自准回来后，再经分束器，经过观测准直透镜重合，构成等厚干与条纹，如图1所示。依据条纹的形状来判别被测件的光学质量。

  用泰曼干与仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一规范的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以构成平面的自准检测光束即可，别离如图1a、图1b、图1c、图1d、图1e所示。

  斐索干与仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和规范平面所组成，如图2b；后者由分束器、有限共轭距物镜和规范球面所组成，如图2b。单色光束在规范平面或规范球面上，部分反射为参阅光束；部分透射并经过被测件的，为检测光束。检测光束自准回来，与参阅光束重合，构成等厚干与条纹。

  除了上述两种常用的干与仪外，还有横向、径向剪切干与仪，这种干与仪没有参阅波面。横向剪切干与仪把被测光束分解成两个相同的，但彼此横移的相干光束。径向剪切干与仪则是把被测光束分解成波面面形类似，但横截面巨细不相同的两相干光束。干与出现在两相干光束的堆叠区域内。两者别离如图3、图4所示。该两种干与仪有多种多样的方式，如平板式、棱镜式、透镜式、光栅式等。横向剪切干与仪不能直接测得波面像差；径向剪切干与仪体系误差稍大。尽管这两种干与仪易于加工，但仍未能像泰曼干与仪那样被遍及的运用。