2、问：载物台的尺度一般是多大？丈量最大高度是多大规模？Z轴丈量的最高精度是多少？

  答：手动载物渠道的尺度：XY：150mm x 100mm Tip/Tilt：±3°PZT扫瞄器的行程为150 μm ，故最大可能量测规模是150μm ， 但请须考虑到载物台，超越150μm ，能够视详细状况加高定做。Z 轴的运动精度在2个μm ，其每一步的扫描精度在75nm。

  3、问：投影扫描出来的图形能够一张张的图片拼成一个全体的物件图形？能否做到无缝衔接？能否进行三维图形整合？

  答：能够的，我司扫描出来的图形经过另一款剖析软件可将扫描出的图形做到无缝拼接，而扫描出的图形自身就有二维和三维的，所以三维图形整合也是没问题，咱们把这个叫做图形缝纫。

  答：SIS-1200机型因是手动渠道，故没有很好的办法供给准确的移动再现性(人的手没办法每次都有准确的重复移动)三轴的运动精度分别为 X、Y轴5个μm ，Z轴在2个μm。

  答：目镜：以CCD替代目镜，故没有目镜，但能够直接从计算机屏幕上看到印象。

  6、问：丈量规范件是什么根据？有何查验方法？那些国际规范可送的查验规范件？

  答：1sigma(同点量测20 次) 规范数字(一般是1 sigma 10nm 或是 3 sigma，简略的断定一般都是设备调试OK后，丈量规范块20次，其重复性在10个nm

  答：白光干与仪是丈量到达纳米级的设备，现在世界上没有几家能够研制出产，它对出产实验环境都有很高的要求，并且设备有许多高精度的核心部件。您想一想，1000个纳米才是一个微米，所以假如要加工出这样的设备，不管从硬件仍是软件上，难度是可想而知的。

  答：有一点您有必要要知道，便是说不管是激光干与仪仍是白光干与仪，他们使用的都是光的干与原理，从字面来了解呢，他们很重要的一个差异便是光源，那么激光和白光做光源到底有什么差异呢。

  答：其实白光干与显微镜和白光干与仪是同一个概念，之所以叫显微镜是由于在咱们一般的概念中，都有目镜和物镜，物镜咱们也知道有10倍，20倍等几个可切换的倍率。白光干与仪也相同，有几个能够切换的物镜，所谓的目镜实际上的意思便是CCD，再者咱们也知道这种设备使用的是光的干与原理，所以说 ，为什么有的人叫它干与显微镜，有的人叫它干与仪，其实便是相同的。

  答：在量程规模内是能够的，但白光干与仪其实是使用在为尺度产品的微观量测，包含外表粗糙度，外表概括，高度，长宽等检测。

  答： SIS-1200plus是手动调焦，SIS-2000在不同目标时也是由人操控聚集（主动对焦行程只要150μm），但假如屡次相同性目标，机台可teaching主动到设定的点位，所以主动机的优势在相同的固定产品量测。

  答： 平面丈量的重复性是base在高度规范片下，1个sigma 小于10nm，而精度则在0.75%内。

  答：一般的状况下是不太有影响的，最好仍是拿sample回来试，咱们也是有遇到全无反射光而无法量测的状况。

  答：是为了阻隔轰动，由于这种设备您知道他是纳米级的，所以任何一点小的轰动，都可能对丈量的数据有影响，而这种细小的差异肉眼是发觉不到的。（最好再简略着重一下气浮阻隔轰动的原理）

  答：咱们的光学部分是日本NIKON，而现在日本NIKON的光学精细部件各位理解是世界上做的最好的，而整个机器的规划，拼装，操控电气部分，软件悉数由韩国SNU自己研制完结，在对设备的使用及处理行业界的问题，SNU无疑是名列前茅的。