当时方位：深圳市中图仪器股份有限公司显微丈量仪白光干与仪SuperViewW1白光干与仪三维概括仪

  白光干与仪三维概括仪运用光学干与原理，丈量单个精细器材的进程用时2分钟以内，确保了高款率检测。具有丈量精度高、操作快捷、功用完全、丈量参数包括面广的长处。

  (4)剖析中供给校平、图画修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功用；

  (5)剖析中供给粗糙度剖析、几许概括剖析、结构剖析、频率剖析、功用剖析等五大剖析功用；

  白光干与仪三维概括仪特别光源形式，可以广泛适用于从润滑到粗糙等各种精细器材外表的丈量。可大规模的应用于半导体制作及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精细配件、光学加工、微纳资料及制作、轿车零部件、MEMS器材等超精细加工职业及航空航天、科研院所等领域中。

  对各种产品、部件和资料外表的平面度、粗糙度、波纹度、面形概括、外表缺点、磨损状况、腐蚀状况、孔隙空隙、台阶高度、曲折变形状况、加工状况等外表描摹特征做丈量和剖析。

  1）选用光学干与技能、精细Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成丈量体系，确保丈量精度高；

  2）隔振体系，可以有显着效果地阻隔频率2Hz以上绝大部分振荡，消除地上振荡噪声和空气中声波振荡噪声，确保仪器在大部分的出产车间环境中能安稳运用，取得高丈量重复性；

  具有0.1nm分辨率的环境噪声检测模块，可以定量评价出外界环境对仪器扫描轴的轰动搅扰，在设备调试、日常监测、毛病排查中可供给定量的环境噪声数据作为支撑。

  集成X、Y、Z三个方向位移调整功用的操作手柄，可快速完结载物台平移、Z向聚集、找条纹等丈量前作业。

  在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞维护外，另在Z轴上规划有机械电子传感器，当镜头触碰到样品外表时，仪器主动进入紧迫中止状况，维护仪器，下降人为操作危险。

  既可以接入客户现场的安稳气源也可以接入标配空压机，在无外接气源的条件下也可安稳作业。

  W1光学概括仪的主动拼接丈量功用，不管是在粗糙或是润滑、异形或是平面结构，当要丈量超出适配镜头下的单视场区域的时分，可以精确的经过不同外表特色进行重建算法的切换。

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