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优可测白光干涉仪在金刚石wafer粗糙度、平面度等测量中的应用
时间: 2024-01-16 01:10:05 |   作者: 安博体育手机版app


  wafer,其实指的就是晶圆,即制作硅半导体电路所用的硅晶片;金刚石wafer即以单晶金刚石C为材料制造成的薄片。金刚石拥有非常良好的物理、化学性质和优异的半导体电气性质,且具有高硬度、高热导率、高化学稳定性等优良特性,因此被誉为“终极半导体材料”。

  随着新能源汽车、高铁动车、物联网、5G技术、人工智能等技术的加快速度进行发展,对高效率、高性能的半导体器件和集成电路的需求持续不断的增加,金刚石 wafer的研究和应用领域逐步扩大。金刚石 wafer在半导体、光电子、生物医学等领域的应用前景广阔,有望成为未来高科技产业的重要支撑。

  金刚石wafer行业发展被限制的根本原因是金刚石制成的wafer片尺寸过小,不足以满足半导体使用需求,因此怎么来实现大尺寸金刚石wafer的生产制造成为半导体行业急需突破的难题。

  金刚石 wafer在半导体、光电子、生物医学等领域具有广泛的应用。此外,金刚石 wafer还能应用于以下领域:

  金刚石 wafer的检测需求最重要的包含表面粗糙度、平面度、缺陷检验测试、厚度尺寸等方面。为了确认和保证产品的质量和性能,需要对其进行全面的检测和分析。

  金刚石wafer的平面度不足会导致封装过程的热应力发生明显的变化,进而影响产品的可靠性。因此就需要对金刚石wafer的平面度/平整度进行仔细的检测,从而改进加工工艺,减少客诉。

  金刚石wafer的表面粗糙度影响产品的散热效果和贴装效果。金刚石作为一种性能优异的第三代(宽禁带)半导体材料和新型热管理材料,具备超高的热导率,因此在散热方面极具潜力,而金刚石wafer的表面粗糙度影响wafer的散热性能。若金刚石wafer的表面粗糙度过大,则会影响wafer片的贴装效果。此外,金刚石wafer的表面粗糙度还影响芯片的性能和可靠性,因此就需要测量表面粗糙度,保证表面粗糙度在一定的范围内,优化加工工艺,从而大大降低表面粗糙度。

  某司希望能够通过检测金刚石wafer的表面粗糙度和平面度,从而提升产品质量和性能,减少客诉。优可测接收到测量需求后,选用白光干涉仪ER230进行仔细的检测,部分样品的检测效果如下:

  客户收到检测报告后,表示:“在金刚石wafer的粗糙度和平整度检测这方面,我们评估了许多家测量仪,其中不乏一些国际大牌,他们的检测效果也很好,但是价格实在是太高了。我们没想到如今的国产设备也能做到这么高精度的三维形貌测量,而且关键是性价比还如此之高,这款设备对我们的产品升级有着非常大的帮助!”

  最高RMS重复性可达0.002nm,搭配大量程压电陶瓷器件,最高扫描速度400μm/秒。

  3200Hz加以业内首创SST+GAT算法,可瞬间完成最高500万点云采集。

  白光干涉仪基于白光干涉原理,通过光干涉相位计量,任意放大倍率下均可获得小于1nm的检测精度。

  涵盖市场上通用的国际标准测量工具,高效率轻松分析3D数据,从容应对各行各业的应用。

  另外,优可测《高校/研究院免费检测计划》仍在继续,欢迎各个高校或研究院人员与我们取得联系,提出检验测试难题,帮您免费测试!每月仅限10个名额,先到先得哦!


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